topografija

(b)

„topografija” poluvodičkog proizvoda znači niz povezanih slika bez obzira na to kako su one fiksirane ili kodirane:

i.	koji predstavlja trodimenzionalni uzorak slojeva od kojih je poluvodički proizvod sastavljen; i

ii.	u kojem nizu svaka slika prikazuje uzorak ili dio uzorka površine poluvodičkog proizvoda na bilo kojem stupnju njegove izrade;