topografija
as defined in 1986 m. gruodžio 16 d. Tarybos direktyva dėl puslaidininkių įtaisų topografijų…, Article 1(1), point (b)
b) puslaidininkio įtaiso "topografija" – tai serija fiksuotų arba koduotų vaizdų:
i) atkuriančių trimatę puslaidininkio įtaiso sudedamųjų sluoksnių gardelę;
ii) toje serijoje kiekvienas vaizdas turi puslaidininkių įtaiso bet kurioje jo gamybos pakopoje paviršiaus modelį ar jo dalį;